LS-611/HMDS гексаметилдисилазан (HMDS)
CAS NO. 999-97-3
Используется в качестве липкости и фоторезиста в процессе фотолитографии чипа, фоторезист, используемый в качестве стабилизатора для электролита литиевой батареи, может улучшить электрохимические характеристики и циклические характеристики литий-ионных батарей, а также медицинское использование.